Tasakaalustamata magnetroni pihustamisel tõmmatakse plasma ka substraadi sisse ja argooniioonid pommitavad ka kasvavat õhukest kilet. … Elektronide olemasolu substraadi ümber põhjustab neutraalsete gaasiaatomite ioniseerumist ja plasma tungimist sellesse piirkonda.
Miks magnetron pritsib?
Magnetroni pihustamine kasutab suletud magnetvälja elektronide püüdmiseks, suurendades esialgse ionisatsiooniprotsessi efektiivsust ja luues plasma madalamal rõhul, vähendades nii taustgaasi kaasamist kasvavasse kile ja energiakaod pihustatud aatomis gaasipõrgete tõttu.
Mida saab magnetroni pihustamiseks kasutada?
5 Magnetroni pihustussadestamine. Magnetronpihustamine on suure kiirusega vaakumkatmise tehnika, mis võimaldab spetsiaalselt moodustatud magneti abil sadestada mitut tüüpi materjale, sealhulgas metalle ja keraamikat paljudele alusmaterjalidele. väli rakendatakse dioodi pihustusobjektile.
Mis on suletud väljaga tasakaalustamata magnetroni pihustus?
Teer Coatings Ltd poolt välja töötatud suletud välja tasakaalustamata magnetroni pihustus-ioonplaadistussüsteem loob optimeeritud sadestustingimused, mis võimaldavad ladestada tihedaid, kõvasid katteid, millel on suurepärane haardumine. CFUBMSIP kokkulepe on kaetud Teer Coatings Ltd.-le antud patentidega.
Mis on tasakaalustamata magnetron?
Magnetronid liigitatakse tavaliselt tasakaalustatud või tasakaalustamata kujul. … Kui nullpunkt on sihtpinna lähedal, pääsevad elektronid kergemini välja ja magnetron on tasakaalust väljas. Tasakaalustamata konstruktsioonid võivad samaaegselt sadestumisega tekitada õhukese kile suure ioonidega pommitamise.
