Fotolitograafia on protsess, mida kasutatakse mikrotootmises geomeetriliste mustrite ülekandmiseks kilele või substraadile. Pooljuhtide geomeetrilised kujundid ja mustrid moodustavad keerukad struktuurid, mis võimaldavad lisanditel, elektrilistel omadustel ja juhtmetel vooluringi lõpule viia ja täita tehnoloogilist eesmärki.
Mis on fotolitograafia protsess?
Fotolitograafia, mida nimetatakse ka optiliseks litograafiaks või UV-litograafiaks, on protsess, mida kasutatakse mikrotootmises osade mustrimiseks õhukesele kilele või põhiosale (nimetatakse ka vahvliks). … Keerulistes integraallülitustes võib CMOS-plaat läbida fotolitograafilise tsükli kuni 50 korda.
Mis on mikrotootmisprotsess?
Mikrotootmine on mikromeetriste ja väiksemate miniatuursete struktuuride valmistamise protsess. … Mikrotootmise peamised kontseptsioonid ja põhimõtted on mikrolitograafia, doping, õhukesed kiled, söövitamine, liimimine ja poleerimine.
Mis on litograafiaprotsess pooljuhtides?
Pooljuhtlitograafiasüsteem teostab protsessi, mille käigus suurest klaasplaadist valmistatud fotomaskile joonistatud väga keerukaid vooluahela mustreid vähendatakse ülikõrge jõudlusega läätsede abil ja eksponeeritakse ränisubstraadile, mida nimetatakse vahvel. …
Mis on litograafia tootmisprotsessis?
Litograafia onmaski geomeetriliste kujundite mustrite ülekandmine õhukesele kiirgustundliku materjali kihile (nn resist), mis katab pooljuhtplaadi pinda. Joonis 5.1 illustreerib skemaatiliselt IC valmistamisel kasutatavat litograafilist protsessi.
