Fotolitograafiat kasutatakse tavaliselt arvutikiipide tootmiseks. Arvutikiipide valmistamisel on alusmaterjaliks vastupidav kaetud räni vahvel. See protsess võimaldab ühele räniplaadile ehitada samaaegselt sadu kiipe.
Kuidas fotolitograafiat tehakse?
Fotolitograafia kasutab mustri maskilt vahvlile ülekandmiseks kolme põhiprotsessi etappi: katta, arendada, paljastada. Muster kantakse järgmise protsessi käigus vahvli pinnakihti. Mõnel juhul saab resistmustrit kasutada ka sadestunud õhukese kile mustri määratlemiseks.
Miks seda nimetatakse fotolitograafiaks?
Pooljuhtlitograafia (fotolitograafia) – Põhiprotsess . Integraallülituse (IC) valmistamine nõuab mitmesuguseid füüsikalisi ja keemilisi protsesse, mis viiakse läbi pooljuhtsubstraadil (nt räni). … Sõna litograafia pärineb kreeka sõnast lithos, mis tähendab kive, ja graphia, mis tähendab kirjutama.
Miks on litograafia oluline?
Litograafia on protsess, mille käigus kantakse maskis geomeetriliste kujundite mustrid õhukesele kiirgustundliku materjali kihile (nn resist), mis katab pooljuhtvahvli pinda. Joonis 5.1 illustreerib skemaatiliselt IC valmistamisel kasutatavat litograafilist protsessi.
Milline meetod on litograafiameetodites kõige laialdasem alt kasutatav?
Optilinelitograafia on footonipõhine tehnika, mis koosneb kujutise projitseerimisest valgustundlikule emulsioonile (fotoresistile), mis on kaetud substraadile, näiteks räniplaadile. See on pooljuhtide suures mahus nanoelektroonika tootmises kõige laialdasem alt kasutatav litograafiaprotsess.
