Fotolitograafiat kasutatakse tavaliselt arvutikiipide tootmiseks. Arvutikiipide valmistamisel on alusmaterjaliks vastupidav kaetud räni vahvel. See protsess võimaldab ühele räniplaadile ehitada samaaegselt sadu kiipe.
Kuidas fotolitograafiat tehakse?
Fotolitograafia kasutab mustri maskilt vahvlile ülekandmiseks kolme põhiprotsessi etappi: katta, arendada, paljastada. Muster kantakse järgmise protsessi käigus vahvli pinnakihti. Mõnel juhul saab resistmustrit kasutada ka sadestunud õhukese kile mustri määratlemiseks.
Mis on fotolitograafia ja kuidas see töötab?
Fotolitograafia on mustrimisprotsess, mille käigus valgustundlik polümeer eksponeeritakse valikuliselt valguse kätte läbi maski, jättes polümeeri varjatud kujutise, mida saab seejärel valikuliselt lahustada, et saada muster. juurdepääs aluspinnale.
Mis on fotolitograafia ja kuidas seda kasutatakse transistoride rakendamiseks?
See kasutab valgust geomeetrilise mustri ülekandmiseks fotomaskilt (mida nimetatakse ka optiliseks maskiks) substraadil olevale valgustundlikule (st valgustundlikule) keemilisele fotoresistile. … See võimaldab täpselt juhtida loodavate objektide kuju ja suurust ning saab kuluefektiivselt luua mustreid kogu pinnale.
Miks seda nimetatakse fotolitograafiaks?
Pooljuhtlitograafia(Fotolitograafia) - Põhiprotsess . Integraallülituse (IC) valmistamine nõuab mitmesuguseid füüsikalisi ja keemilisi protsesse, mis viiakse läbi pooljuhtsubstraadil (nt räni). … Sõna litograafia pärineb kreeka sõnast lithos, mis tähendab kive, ja graphia, mis tähendab kirjutama.
