Fotolitograafia kasutab kolme põhiprotsessi etappi mustri ülekandmiseks maskilt vahvlile: katta, arendada, paljastada. Muster kantakse järgmise protsessi käigus vahvli pinnakihti. Mõnel juhul saab resistmustrit kasutada ka sadestunud õhukese kile mustri määratlemiseks.
Mis on fotolitograafia Kuidas see töötab?
Fotolitograafia on mustrimisprotsess, mille käigus valgustundlik polümeer eksponeeritakse valikuliselt valguse kätte läbi maski, jättes polümeeri varjatud kujutise, mida saab seejärel valikuliselt lahustada, et saada muster. juurdepääs aluspinnale.
Miks kasutatakse fotolitograafiat?
Fotolitograafia on üks tähtsamaid ja lihtsamaid mikrotootmise meetodeid ning kasutatakse materjalis üksikasjalike mustrite loomiseks. Selle meetodi puhul saab kuju või mustri söövitada valgustundliku polümeeri selektiivse ultraviolettvalgusega kokkupuute teel.
Miks kasutatakse fotolitograafias UV-valgust?
Fotolitograafia võimaldab rakkude 3D-kapseldamist hüdrogeelidesse, ristsidestades rakke sisaldava eelpolümeeri UV-valguses. Soovitud mustri saamiseks kasutatakse fotomaski [88].
Millised on fotolitograafia nõuded?
Üldiselt nõuab fotolitograafiaprotsess kolme põhimaterjali, valgusallikat, fotomaski ja fotoresisti. Fotoresist, valgustundlik materjal,on kahte tüüpi, positiivne ja negatiivne. Positiivne fotoresist muutub pärast valgusallikaga kokkupuudet paremini lahustuvaks.
Photolithography: Step by step
