Pooljuhtlitograafia (mida nimetatakse ka fotolitograafiaks) puhul on meie kivid räni vahvlid ja meie mustrid on kirjutatud valgustundliku polümeeriga, mida nimetatakse fotoresistiks.
Mida sa mõtled fotolitograafia all?
Fotolitograafia, mida nimetatakse ka optiliseks litograafiaks või UV-litograafiaks, on protsess, mida kasutatakse mikrotootmises osade mustrimiseks õhukesele kilele või põhiosale (nimetatakse ka vahvliks).. … See meetod võib luua äärmiselt väikeseid, kuni mõnekümne nanomeetri suuruseid mustreid.
Miks kasutatakse pooljuhtide tootmises litograafiat?
Fotolitograafia on protsess, mida kasutatakse mikrotootmises geomeetriliste mustrite ülekandmiseks kilele või substraadile. Pooljuhtide geomeetrilised kujundid ja mustrid moodustavad keerukad struktuurid, mis võimaldavad lisanditel, elektrilistel omadustel ja juhtmetel vooluringi lõpule viia ja täita tehnoloogilist eesmärki.
Mis on fotolitograafia eesmärk?
Fotolitograafia on üks tähtsamaid ja lihtsamaid mikrotootmise meetodeid ning kasutatakse materjalis üksikasjalike mustrite loomiseks. Selle meetodi puhul saab kuju või mustri söövitada valgustundliku polümeeri selektiivse ultraviolettvalguse toimel.
Mis on pooljuhtlitograafiaseadmed?
Pooljuht-litograafiaseadmeid kasutatakse pooljuhtkiibi kokkupuutefaasistootmisprotsess. … Pooljuhtlitograafiaseadmed kasutavad projektsiooniläätse, et vähendada vooluringi mustrit, mis on kirjutatud originaalplaadile, mida nimetatakse võrkudeks, ja paljastada mustri vahvlile.
